- Basic CSM/Win Program軟體 *1
- 電流電壓量測軟體 *1
- GOI,QS軟體 *1
- 退火爐(快速熱)
- 精準溫度加熱用載台系統 *1
- 電磁加熱攪拌器 *1
- 旋轉塗佈機 *1
- 晶片測試台 *1
- 溫度控制器 *1
- 高溫爐 *1
- 真空幫浦 *1
- 濺鍍機腔體真空計 *1
- 真空計 *1
- 腔體壓力流量計 *1
- 溫度記錄器 *1
- 高頻數位示波器 *1
- 脈衝產生器 *1
- 精準電感電容電阻計 *1
- 電容電壓儀 *1
- 高頻測試組件 *1
- 半導體量測用鎢鋼針座系統 *1
- 高頻探針座 *4
- 可調式探針 *1
- 震盪式膜厚計 *1
- 分析電子天平 *1
- 低漏電流開關控制器 *1
- 超音波清淨機 *1
- 個人電腦 *3
- HP4155A用測試載台模組 *1
- HP4284A用測試載台模組 *1
- 多工器 *1
- 半導體參數分析儀 *1
- 儀器櫃 *1
- 化學藥品櫃 *1
- 4MHzDDS函數信號產生器 *1
- 雷射印表機 *1
- 不中斷電源設備 *1
- 防潮箱 *2
- 除濕機 *1
- 烘碗機 *1
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